介绍了一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL)端面泵浦的固体激光器。该激光器以VCSEL阵列端面泵浦Nd∶YAG晶体,使用二维微透镜阵列对VCSEL阵列进行准直整形,通过电光调Q方式,在100 Hz重复频率情况下,实现了脉宽为4.16 ns、能量为5.36 mJ、峰值功率为1.29 MW、光束质量为M■=1.409和M■=1.531的激光输出。