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摘要
使用传统方法对小尺寸线纹尺的校准具有速度慢、自动化程度低的缺点；对大尺寸线纹尺的校准，安装繁琐，精度不易保证。针对这些问题，提出了基于光学三坐标测量小尺寸线纹尺，基于激光干涉比长仪测量大尺寸线纹尺的方法。分别对两种测量方法的测量原理、过程进行了研究，并对校准结果进行了不确定度的分析与评定，通过与国家院的数据比对对测量结果进行了验证。两种方法的结合，既保证了测量的精度、效率，又扩展了测量的范围，保证测量尺寸的完整性，对实际工作的开展具有指导意义。
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单位中国测试技术研究院
