生长温度对ZnO薄膜性能的影响

作者：苏宏波; 戴江南; 蒲勇; 王立; 李方; 文卿; 江风益

来源：半导体学报, 2006, (07): 1221-1224.

• ZnO
• MOCVD
• X射线双晶衍射
• 光致发光
• 应变

采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3(0001)衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐渐增大,a轴晶格常数逐渐变小,同时带隙相应逐渐增大.

• 单位
  教育部发光材料与器件工程研究中心; 南昌大学