一种柔性电容式压力传感器的制备方法

作者：李迎春; 李欣樾; 张苗; 张凯瑜; 常晶晶

来源：2022-06-24, 中国, ZL202210722507.2.

本发明公开了一种柔性电容式压力传感器的制备方法,包括以下步骤；S1.选择传感器各层材料,并设计器件结构为双层介电层,分别包括掺有银纳米颗粒的纳米纤维膜层和PDMS微结构层；S2.制备双层介电层,分别为掺有银纳米颗粒的纳米纤维膜和PDMS微结构层；S3.制备电极层,进行微结构化处理；S4.将两层电极和双介电层按三明治结构叠放,导线贴附于上下电极层两侧；S5.用生物性透气胶带进行封装,得到柔性电容式压力传感器。本发明制备出的传感器具有高灵敏度、宽传感范围和良好稳定性的特点。

• 单位
  西安电子科技大学