基于离焦图像的晶圆表面缺陷检测

作者：何睿清; 周鑫宇; 张慧; 郝飞^*; 宋佳潼

来源：组合机床与自动化加工技术, 2023, (07): 110-118.

DOI：10.13462/j.cnki.mmtamt.2023.07.025

• 晶圆缺陷检测
• 频域图像处理
• 背景估计
• 分水岭算法
• 特征识别

缺陷检测在晶圆生产中起着关键作用，在利用机器视觉检测晶圆缺陷时，无论晶圆有无缺陷均进行自动对焦，从而导致检测效率降低，针对该问题，提出了一种基于离焦图像的晶圆表面缺陷检测方法。可在对焦前下对晶圆进行评估，检测缺陷后进行对焦，首先在频域中对晶圆图像进行自适应背景估计和去除，得到光照均匀、特征突出的检测图像；然后使用区域合并的优化分水岭算法进行图像分割；最后对分割后缺陷区域进行缺陷识别。实验结果表明，该方法可以准确鉴别晶圆图像是否存在缺陷，对于存在缺陷的样本，缺陷检测准确率可达95.3%,提高了检测效率。

• 单位
  南京工程学院