一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机

作者：谢颖熙; 张伯乐; 陆龙生; 汤勇

来源：2020-03-20, 中国, ZL202010200577.2.

本发明涉及一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机,包括催化剂衬底、喷头和驱动装置,喷头设有加热装置,喷头一端通入有反应气体、还原气体和惰性气体,喷头另一端与催化剂衬底对应设置,驱动装置设于喷头一侧,驱动喷头和催化剂衬底相对三维移动。喷头加热后成为高温的喷头。还原气体通过高温的喷头后成为高温还原气体,对催化剂衬底进行清洗,能够更有效去除催化剂衬底表面残余的氧化物杂质。高温反应气体喷射在催化剂衬底上,在催化剂衬底上发生还原反应生成纳米材料。通过驱动装置的驱动,使喷头和催化剂衬底按照设定轨迹相对三维移动,可以得到所需图案的纳米材料产品,提升了纳米材料打印的可操作性。

• 单位
  华南理工大学