散射测量原理样机光机分系统的设计

作者：马燕玲; 杨晓青

来源：机械制造, 2023, 61(01): 64-66.

• 散射测量
• 原理样机
• 光机分系统
• 设计

散射测量是一种通过测量周期性标记的散射光特征，使用逆向求解算法获得标记参数的非接触式测量技术。对散射测量原理样机的光机分系统进行了设计，并进行了集成调试。通过所设计的光机分系统，实现了散射测量原理样机对晶元形貌线宽和套刻工艺100 nm级测量，取得了半导体检测领域的重大突破。

• 单位
  上海微电子装备有限公司