环形叉指电极型压电鼓膜驱动器的制备及其性能测试

作者：尹伊; 曹贵川; 祁康成; 叶辉; 詹文博

来源：光电子-激光, 2013, (02): 226-233.

DOI：10.16136/j.joel.2013.02.014

• 自适应光学
• 压电鼓膜驱动器
• 凝胶-凝胶sol-gel法
• Pb(Zr52Ti48)O3(PZT52)
• 压电系数d33 adaptive optics
• piezoelectric diaphragm actuator
• sol-gel
• piezoelectric coefficient d33

制备了一种基于Pb(Zr52Ti48)O3(PZT52)材料的自适应光学用压电驱动器。驱动器采用鼓膜结构,其工作区域由主动层—PZT52压电层和被动层—ZrO2/Si复合层两部分构成。PZT52压电层采用环形叉值电极(IDT)驱动。采用Si(100)单晶作为衬底,并采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在其上制备ZrO2阻挡层和PZT52压电层,其中引入PbTiO3(PT)种子层有利于PZT52膜层的(110)择优取向。随后在其上热蒸镀Al顶电极,并采用光刻方法制备图形,得到的IDT电极最大环形直径为10.5mm,电极间距为0.05mm,中心非激活区域直径为2mm。鼓膜结构则通过对Si衬底背部进行...

• 单位
  浙江大学; 电子科技大学; 光电信息学院; 现代光学仪器国家重点实验室