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摘要
随着电力装备、电子器件和新概念武器等的设计和应用向着小型化和集成化的方向发展，高场强下微纳结构的绝缘问题日益突出。针对微纳尺度范围的电气击穿机理和绝缘性能，近二十年来国内外相关学者开展了大量的理论、实验和数值模拟工作，并取得了重要的成果。与宏观尺度击穿和放电过程的仿真不同，当击穿距离在微米尺度时，其电子平均自由程与击穿距离可比，此时需要考虑场致电子发射过程；同时，由于击穿距离小，在数值模拟时要求网格划分更为精细，这大大增加了计算工作量。因此，该文综述了近年来微米尺度气体击穿的理论研究和数值模拟的研究进展，重点对微米尺度电气击穿的数值计算方法、仿真模型建立、击穿过程以及影响因素等方面进行分析和总结，提出当前面临的主要问题和挑战，并展望了未来需要关注的研究方向。该文的研究结果可为未来微纳尺度放电击穿特性研究和理论探索提供参考。
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单位电力设备电气绝缘国家重点实验室; 西安交通大学
