基于液相AFM及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜在线测量系统研究

作者：刘超; 张冬仙; 章海军

来源：光谱学与光谱分析, 2008, 28(07): 1679-1683.

DOI：10.3964/j.issn.1000-0593.2008.07.055

• 多孔氧化铝
• 液相原子力显微镜
• 空隙率
• 反射干涉频谱法
• 在线测量 Porous alumina
• AFM in liquid
• Pore-ratio
• Reflectometric interference spectroscopy
• In-situ thickness measurement

介绍了多孔氧化铝薄膜(PA)厚度在线测量系统的工作原理、系统结构及独特性能。在白光(宽光谱)照射下,薄膜的上表面和下表面反射的两路光线发生干涉,产生了携带薄膜光学厚度信息的反射光谱。同时,利用液相原子力显微镜(AFM)实时获得的PA膜的表面形貌信息,根据膜系统的Maxwell-Garnette有效介电常数理论,经相干势近似计算得到薄膜的有效折射率,进而得到此时PA膜的物理厚度。使用该系统对PA膜氧化制备过程进行了在线扫描和膜厚测量试验,成功的获得了PA样品的实时表面形貌图像,得到样品的孔隙率和有效折射率。并根据样品反射光谱,利用反射干涉频谱法计算得到氧化150和180min时,PA膜厚分别为5...

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室