一种电介质薄膜电学性质测量系统

作者：宋长青; 王志亮; 尹海宏

来源：2019-01-30, 中国, ZL201910094588.4.

本发明揭示了一种电介质薄膜电学性质测量系统,包括探针台、电学测试装置和计算机,电学测试装置中的前置跨阻放大器包括有两个CMOS运算放大器、四个MOS场效应管、四个CMOS反相器、六个电阻、两个电容。电介质薄膜的漏电流大小通常介于数十fA至数十pA,通过合理选择外围电阻,前置跨阻放大器的输出电压可达到数μV至几十μV量级,该输出电压信号再经过中间电压放大器、后端电压放大器依次放大,可被电流测量装置准确测量出来,最终送至计算机进行处理、显示。利用本发明独有的处理方式,有效地从信号源中过滤掉了运算放大器自身带来的干扰信号。

• 单位
  南通大学