电网电压波动>400±5﹪V时,溅射源输出电压将产生波动,影响膜层均匀度。采用有载自动调压变压器可有效地解决电网电压波动问题;溅射源整流电路自身产生的谐波引起其输出电压脉动,影响膜层均匀度,并在电网电压偏高时有可能导致输出电压峰值过高而在阴极表面产生电弧,造成针孔次品。在整流器输出电路串联直流电抗器,降低输入电压,可防止电弧的产生。文章还介绍了镀膜室辊道速度波动、扩散泵回油等影响镀膜玻璃质量的因素及解决措施。
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