大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究

作者：高达; 李震; **; 徐强强; 刘铭

来源：激光与红外, 2022, 52(03): 388-391.

• 碲锌镉
• 碲镉汞
• 分子束外延

针对高质量、大规模碲镉汞红外焦平面探测器需求的持续增加，本文开展了使用分子束外延方式在50 mm×50 mm(211)B碲锌镉衬底上外延碲镉汞材料技术的研究。通过对碲锌镉衬底改进湿化学腐蚀、碲锌镉衬底预处理、碲锌镉衬底缓冲层生长、碲锌镉基碲镉汞材料工艺开发等方面的研究，开发出了能够稳定获得碲锌镉基碲镉汞材料的工艺。材料质量、工艺重复性良好，获得的碲锌镉基碲镉汞材料双晶衍射半峰宽(35±5)arcsec,组分平均值为0.2160;碲镉汞薄膜材料厚度平均值为6.06μm。

• 单位
  华北光电技术研究所