建立了一个等离子体射频激励器,工作气体为氢气,工作气压为0.3Pa,激励器陶瓷桶直径300mm,工作频率1MHz。实现了RF等离子体激发放电,在输入射频功率16k W条件下,采用朗缪尔探针测得的等离子体密度>1018m-3,初步建立了一个RF等离子体源实验平台。