瞬态双界面结壳热阻测量方法的误差分析

作者：赵丽; 翟玉卫; 李灏; 吴爱华; 范雅洁; 李茹

来源：上海计量测试, 2022, 49(03): 37-44.

• 热阻
• 半导体器件
• 温度敏感参数
• 降温曲线

重点分析了瞬态热阻测试方法的原理及最新进展，并针对微电子元器件各工艺过程中“热阻”参数测量准确性、一致性差的问题，对基于热瞬态方法的热阻测试技术进行了误差分析。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所