采用化学沉积法制备了纯ZnO和不同Mn掺杂浓度的Mn掺杂ZnO薄膜，并对所制备薄膜的结构、形态和光学性能进行了研究。XRD分析显示，所有薄膜都呈六角形结构，但Mn掺杂的ZnO薄膜存在峰移。随Mn掺杂浓度的升高，晶体尺寸增大。Mn掺杂ZnO薄膜表面分布不规则颗粒，并呈团聚状。Mn掺杂ZnO薄膜在可见光区表现出更高的透射率，但随着Mn掺杂浓度的升高，透射率逐渐降低。随Mn掺杂浓度的升高，薄膜的带隙减小。Mn掺杂ZnO薄膜在紫外区表现出更高的光导率和导电率。
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