本发明提供一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法,包括依次连接的盖板、检测结构层和底衬；检测结构层中部设有敏感质量块和L形固支梁,在检测结构层的上、下两面中心位置分别设有上限位柱、下限位柱,并分别与盖板、底衬相适配,并采用2次的硅-硅键合方法,形成内部封闭的压电式MEMS加速度传感器。整个装置当受到非过载加速度时,压电陶瓷薄膜受力形变,在表面产生电压信号；当受到过载加速度时,受限于外框的限位结构,敏感质量块仅位移传感器阻尼系统间隙距离,从而起到全方位过载保护的作用。
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