对三氟化氮几种制备技术和纯化技术的探讨分析

作者：郭金森

来源：中国石油和化工标准与质量, 2023, 43(02): 156-158.

• 三氟化氮
• 氟气直接反应
• 熔盐电解
• 低温精馏
• 化学吸收
• 化学转化

三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体，是电子刻蚀气主要产品，主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等。本文介绍了三氟化氮气体的特性，对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨。