基于多孔硅Bragg反射镜的液体浓度测量方法

作者：李志全; 乔淑欣; 蔡亚楠; 王建军; 张乐欣

来源：光学技术, 2006, (06): 863-864+868.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2006.06.018

• 反射光谱
• 多孔硅Bragg反射镜(PSBR)
• 脉冲电化学腐蚀
• 正交方法
• 浓度测量 reflectance spectrum
• porous silicon Bragg reflector(PSBR)
• pulsed etching method
• orthogonal method
• liquid concentration

提出了一种利用多孔硅Bragg反射镜(简称PSBR)的反射谱来测量液体浓度的新方法。当在PSBR的孔内浸入不同浓度的液体时,多孔硅的有效折射率会发生变化,从而引起PSBR反射谱峰位发生变化。利用脉冲腐蚀法制备PSBR,采用正交参数设计法优化实验参数。对其进行了浓度测量实验和验证实验,测量误差小于0.14%。

• 单位
  燕山大学; 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室