磁隧道结器件频率响应特性有限元仿真方法

作者:姚馨平; 潘孟春; 冀敏慧; 胡佳飞; 张琦; 李裴森
来源:传感器与微系统, 2023, 42(06): 21-24.
DOI:10.13873/J.1000-9787(2023)06-0021-04

摘要

磁隧道结(MTJ)器件是隧道磁电阻传感器的核心结构,其频率响应特性关乎传感器的性能。本文提出了一种“隧道结电路模型+分布式寄生电容”的MTJ器件频率响应特性有限元仿真方法,并对桥式结构MTJ器件进行了实验测试与仿真对比分析,验证了该仿真方法的有效性。基于所提方法,针对电极尺寸对器件频响特性的影响进行了系统仿真,验证了利用该方法进行优化设计的可行性。相关研究对MTJ器件的设计具有重要指导意义。

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