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摘要
针对硅微谐振式加速度计 ( SRA) ，提出了一种低噪声、低功耗、可集成的频率读出电路。频率读出电路主要基于 Σ-Δ 原理，实现了对量化噪声的调制与抑制，在 0. 1 Hz 频率下实现了■的频率测量水平。同时，专用集成电路 ( ASIC) 实现了对加速度测量中频率非线性的补偿，实现了在质量块正弦调制谐振梁情况下频率的零均值变化，解决了冲击和振动环境中非线性导致的加速度偏移问题。最后，ASIC 以 0. 35 μm CMOS 工艺实现，并与前端模拟振荡电路集成，构成了完整的 SRA 单芯片测控系统。
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