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摘要
研究了一种硅光子芯片空间光耦合系统，简化了集成光子芯片用光纤阵列耦合的方式，通过将1 550 nm附近波段的光通过空间光学系统，经光栅耦合器垂直耦合进入集成光子芯片，经过波导与微环谐振腔实现光学传感，采用多模光纤收集出射能量，并进行温度传感测试。实验结果表明，用波长探测方式，得到自由光谱范围（FSR）为0.85 nm,Q值为16 321的环形谐振腔直通端透射谱线。在温度传感测试中，其灵敏度达到127 pm/℃。通过进一步对比测试表明，空间光耦合与光纤阵列光耦合只在插入损耗方面有所差距，耦合系统可得到较好的温度传感测试结果。空间光耦合具有更换传感器芯片便捷，容易实现多通道测试等优点。
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