功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析

作者：罗晓斌; 张波; 周燕青; 杨旭彪; 辛玉龙; 董皓

来源：山西化工, 2020, 40(03): 55-57.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2020.03.19

• 埚转
• 功率
• 对流
• 溅硅

在CZ法硅单晶生长中,化料过程是原生硅固液形态转换的主要过程,由于化料阶段功率最高,也是最容易发生事故的过程,其中溅硅、漏硅等事故对石墨热场、产品品质、安全等方面有着较大的不良影响。