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摘要
螺旋波等离子体具有高电离率、低工作气压、低外加磁场、无内电极、静态均匀性好等特点，广泛应用于聚变研究、等离子体推进、等离子体材料处理等领域。均匀磁场和非均匀磁场下螺旋波等离子体的耦合效率有所不同，在螺旋波等离子体源中应用非均匀磁场可显著改善等离子体参数和射频能量吸收，提高等离子体电离效率。本文主要对非均匀磁场下的螺旋波等离子体的磁场设计及分布、放电特性、应用进行综述，并展望了非均匀磁场螺旋波等离子体的发展方向。
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单位北京印刷学院
