非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪

作者：李庆利; 刘一淸; 田应洪; 李小进

来源：2012-10-10, 中国, ZL201110116682.9.

本发明公开了一种非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪,该检测仪包括白光光源、会聚透镜、光阑、透镜、散射镜、光波长滤波器、半透分光反射镜、变焦透镜组、正光焦度透镜、单凸透镜、单凹透镜、双胶合透镜、平面透光板、凹凸单透镜、盖玻片、双凸正光焦透镜、反光镜、ICCD、数字微镜器件、高度可调节平台、手动调节旋钮、平台自动调节驱动器、光波长滤波器驱动单元、光源控制器、图像采集和控制终端、计算机、封闭式机壳、样本窗、滑动开关门、传送带、滚珠及传送带控制器。本发明能够根据不同微镜片能清晰成像时对应的光波长不同,通过计算波长差异来换算微镜片之间的水平高度差,从而对微镜器件表面一致性进行无接触检测。

• 单位
  华东师范大学