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摘要
针对钛合金硬度低、耐磨性差的缺点，提出了一种由渗氧和氧氮共渗两个过程组成的低温等离子复合渗工艺，并着重研究了前置渗氧对钛合金表面微观结构、物相组成及耐磨性能的影响。利用SEM、TEM、XRD等手段对复合渗层的微观结构和相组成进行了分析，结果表明，等离子复合渗处理的钛合金样品渗层主要由化合物层和扩散层组成，物相为金红石型TiO2和氮化物TiN0.26。采用显微硬度计、纳米压痕仪和往复式摩擦试验机对渗层的显微硬度和摩擦磨损性能进行了表征，结果表明，与传统等离子渗氮相比，等离子复合渗处理可增加渗层的厚度，显著提高钛合金的硬度和弹性模量，大幅改善钛合金的耐磨损性能。
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