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摘要
本实用新型公开了一种基于两步法的超精密圆度测量装置,包括基座、第一转台、第二转台、三爪卡盘、位移传感器和高度调节机构；所述第一转台安装于基座上；所述第二转台通过磁力吸座安装于第一转台上；所述三爪卡盘安装于第二转台上；所述第一转台的中轴线、第二转台的中轴线和三爪卡盘的中轴线均位于同一直线上；所述高度调节机构的下端安装于基座上；所述位移传感器的一端安装于高度调节机构,且所述位移传感器的探头轴线与基座表面平行。本实用新型的测量装置结构简单,且采用有效的手段以抑制测量不确定度的传播,令测量不确定度达到最小,测量精度达到最高。
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