为提高HFETR(高通量工程试验堆)气载流出物的监测能力,基于目前主流的压缩后谱分析方法,构建了惰性气体核素分析系统,有效提高惰性气体的探测下限,实现了低放射性水平惰性气体的核素分析测量。本文详细论述了惰性气体核素分析系统的设计与工程实现过程,可以为后续类似系统设计提供参考。