ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备

作者：徐启远; 刘正堂; 李阳平; 武倩; 张淼

来源：Acta Physica Sinica, 2011, (01): 219-222.

• 耦合波理论
• 表面亚波长增透结构
• 反应离子刻蚀
• 硫化锌 coupled-wave theory
• antireflection of sub-wavelength structure
• reactive ion etching
• ZnS

ZnS是长波红外窗口优选材料之一,而其表面反射率较高;为了减小表面反射,利用耦合波理论,对ZnS衬底表面的亚波长结构参数进行优化设计,得到了具有良好增透效果的最佳亚波长结构参数;并利用掩膜光刻、反应离子刻蚀技术在ZnS衬底表面制备出在8—12μm波段范围内有明显增透效果的二维亚波长结构,这为ZnS衬底的增透提供了一种新的方法.

• 单位
  凝固技术国家重点实验室; 西北工业大学