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摘要
本文利用有限元方法开展了一种基于声表面波（surface acoustic wave, SAW）的单端对谐振型温度传感器件的优化设计。利用参数化扫描方法，对YX石英晶体（YX-Quartz）表面SAW传播模态、导纳特性等进行分析，得到电极相对膜厚为1.5%时，器件具有最小损耗。同时结合等效电路模型，提取优化后器件的电学参数。在此基础上，实验制备出工作频率为436.56 MHz的谐振型SAW温度传感器件，测试品质因子达9 000,其频率温度系数为9.009 kHz/℃,线性度为5.506 9×10-5%。结合射频读取模块，搭建了无源无线温度测试平台。实验结果显示全温范围（-20℃～120℃）内测温精度优于±2℃。
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