CO2激光熔融毛细管端面制备的光纤F-P压力传感器

作者：张皓月; 李红; 孟凡勇; 徐滔; 祝连庆^*

来源：半导体光电, 2021, 42(01): 35-39.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021.01.006

• 光纤F-P
• CO2激光
• 毛细管端面
• 硅薄膜
• 压力传感器

提出了一种利用CO2激光熔融毛细管端面来制备光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器的方法。F-P结构由普通单模光纤和基于CO2激光熔融毛细管端面制备的硅薄膜组成。文章详细说明了硅薄膜的制造工艺和熔融参数,并对光纤F-P压力传感器进行了性能测试。实验结果表明:制备的光纤F-P压力传感器对气压具有良好的灵敏度和线性度,灵敏度可达到16.37pm/kPa,线性度为0.998。该光纤F-P压力传感器结构紧凑,易于生产,具有在极端恶劣环境下的应用潜力。

• 单位
  北京信息科技大学