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摘要
本发明公开了一种AlTiN/TiAlSiN梯度纳米复合结构涂层及其一体化制备方法与应用,属于先进涂层领域。该涂层采用电弧离子镀(Arc)、高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)及其复合的(Arc-HiPIMS)沉积技术制备。涂层结构设计分为三个层次：Arc沉积AlTiN底层作为基体与涂层之间过渡层,用来提高膜基结合力；Arc-HiPIMS复合技术沉积的AlTiN/TiAlSiN亚纳米级梯度复合结构做为中间层,是主要的支撑层；顶层的TiAlSiN功能层由HiPiMS技术沉积,表面致密光滑,性能优异。本发明实现了涂层结构设计创新、性能优异、工艺高效,且绿色环保,具有良好的应用前景。
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