微小尺寸器件的CO2雪清洗

作者：斯蒂芬·詹特伦; 汤玛斯·迪卡罗; 马丁·史坦那; 卡琳·尼尔纳; 安德鲁·迪策尔布; 李东炎

来源：中国洗涤用品工业, 2020, (01): 57-67.

DOI：10.16054/j.cnki.cci.2020.01.007

• CO2雪清洗
• 精密器件
• 尺寸测量法
• 超声波清洗
• 高速空气喷射

在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战。这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多种。尽管如此,在器件加工、组装、包装、应用和测量之前通常是需要深度清洗的。以前对CO2雪清洗的评估几乎完全是指清洗光滑度,凹陷或凸起的表面,通常检查的器件是晶片和光学元件。在本文中,我们研究了微型齿轮上复杂表面形状的CO2雪清洗。将CO2雪清洗的效果与超声波清洗和高速空气喷射清洗进行了比较。通过对清洗前后四个研究样品的光学显微镜图像的分析,评估了72次清洗实验。结果表明,CO2雪清洗方法可以清楚测试样品中超过95%的微米级污染物。相比较而言,超声波清洗只能除去88%的颗粒,高速空气喷射也仅能除去74%的颗粒。