中红外双通道滤波器的研制

作者：陈旭; 吴智勇; 赵新潮; 周兴雷; 王丁

来源：光学仪器, 2020, 42(01): 32-39.

• 中红外
• 双通道
• 滤波器
• 红外探测
• 膜系设计

针对中红外目标探测需求,采用多个截止带拼接的设计方法,结合TFCal膜系设计软件优化各个膜层厚度,得到了中红外双通道滤波器膜系。通过对膜系敏感层的分析,将总膜系分成两个膜系进行镀膜,成功制备出2.7～3.0μm和4.1～4.4μm双通道滤波器。得到的样品在2.7～3.0μm波段平均透过率为73%,在4.1～4.4μm波段平均透过率为81%。该方法提高了膜系设计效率,减少了膜层数和总厚度,可解决膜系过厚带来的开裂和脱膜等问题,节约了镀膜时间和成本。

• 单位
  上海师范大学; 中国科学院大学; 数理学院; 上海理工大学