微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长

作者：董涛; 杨朝初; 毕勤成; 张玉龙; 谷丹丹; 张春权

来源：化工学报, 2007, (01): 54-60.

• 微机电系统
• 微流体相变
• 微气泡生长
• 微小有限空间
• 矩形微通道 MEMS
• microfluidic phase change
• micro-bubble growth
• micro restrained space
• rectangular microchannel

采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明:同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低。相同实验条件下,R113、FC-72...

• 单位
  北京理工大学; 动力工程多相流国家重点实验室; 爆炸科学与技术国家重点实验室; 西安交通大学; 厦门大学