Al2O3混合液配比对电射流沉积高温绝缘层的影响

作者：周浩; 刘志春; 王碧玲; 侯振琪; 孙宏毅; 李强^*; 赵鑫; 梁军生^*

来源：仪表技术与传感器, 2023, (07): 22-32.

• Al2O3
• 高温绝缘层
• 电射流沉积
• 高温薄膜传感器

高温薄膜传感器广泛应用在航空航天热端部件的参数测量方面，制备出具有良好性能的高温绝缘层是研制高温薄膜传感器的关键技术之一。基于电射流沉积技术，通过测定溶液参数和对制备出的Al2O3绝缘薄膜进行表征分析，探究了Al2O3混合液中溶胶与纳米悬浮液比例从1∶0.5逐步升至1∶1.5时，所制备的Al2O3高温绝缘层性能的变化。结果表明：用该方法制备的Al2O3薄膜在1 200℃高温下仍具有100 kΩ以上的电阻值，满足了高温薄膜传感器对高温绝缘层的要求，并且随着混合液中纳米悬浮液比例的提高，所制备出的Al2O3薄膜的性能呈现下降趋势。

• 单位
  中国航空工业空气动力研究院; 大连理工大学