晶圆制造设备的行业状况与发展策略

作者：张晴晴

来源：集成电路应用, 2022, 39(04): 28-29.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.04.012

• 晶圆制造
• 半导体设备
• 行业现状

阐述晶圆制造设备与半导体设备行业的发展，探讨中国晶圆制造设备行业的现状，面临困局与问题，提出应对的破局之策。