第十七讲 薄膜与表面技术基础

作者：张以忱

来源：真空, 2011, (04): 80-82.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2011.04.003

• 原子
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• 残余内应力
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• 表面结构
• 表面层
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<正>(上接2011年第3期84页)金属在切割、研磨和抛光后,除了表面产生贝尔比层之外,还存在着各种残余应力,同样对材料的许多性能发生影响。残余应力是材料经各种加工、处理后普遍存在的。残余应力(内应

• 单位
  东北大学