行波管折叠波导慢波结构UV-LIGA制备技术中的电铸工艺

作者：谢云竹; 姜琪; 李兴辉; 潘攀

来源：微纳电子技术, 2023, 60(11): 1850-1856.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2023.11.017

• UV-LIGA工艺
• 行波管(TWT)
• 折叠波导
• 直流电铸
• 脉冲波电铸
• 三角波电铸

UV-LIGA是制作行波管(TWT)折叠波导慢波结构的一项重要技术,能够满足行波管对于慢波结构小尺寸、高精度和低表面粗糙度的加工要求。简要介绍了采用UV-LIGA技术制备340 GHz折叠波导慢波结构的工艺流程,主要包括在铜基底上通过光刻工艺制备厚胶膜结构、在厚胶膜结构中进行高精度电铸以及将半封闭铜电铸窄通道中胶膜去除等。对大深度窄缝结构精密电铸工艺进行了详细研究,分析对比脉冲波及三角波的电铸结果,优化工艺参数并尝试工艺组合。结果表明,采用三角波电铸,狭缝和胶膜边缘厚度差为40μm;采用脉冲波和三角波电铸结合方法,得到的电铸结构表面平整,狭缝和胶膜边缘厚度差减小至15μm。最终制备的折叠波导慢波结构与基底结合良好,表面无缺陷,高温处理后无裂纹、无鼓泡,窄边尺寸精度优于2μm,能够满足行波管的应用需求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十二研究所