综述了电感耦合等离子体发射光谱法测定高纯稀散金属中镓、铟、铊、锗、硒、碲、铼中杂质元素的研究进展,分析了样品测定过程与重点,分别对镓、铟、铊、锗、硒、碲、铼进行了介绍,重点讨论了基体的干扰和消除,并对测定高纯稀散金属中杂质元素的发展方向提出建议。