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KD476:一种红外探测器及其制备方法
来源:
科技创新与品牌
, 2019, (05): 78.
摘要
<正>本发明涉及一种红外探测器及其制备方法,包括衬底层,设置于衬底层上的半导体层。半导体层上方设置有贵金属膜,该金属膜上设置有多个倾斜的排列的金属棒。该红外探测器,是基于肖特基结的红外探测器,通过
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