基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状

作者：史光华; 徐达; 王建; 王真; 常青松; 周彪; 张延青; 白锐

来源：微纳电子技术, 2019, 56(04): 303-313.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.009

• 微电子机械系统(MEMS)
• 矩形微同轴技术
• EFABTM
• PolyStrataTM
• 体硅刻蚀

矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结构、性能等方面对矩形微同轴进行了简要分析。回顾了矩形微同轴技术在其发展的不同阶段出现的体硅刻蚀技术、EFABTM和PolyStrataTM技术,并对矩形微同轴的结构、加工工艺及射频性能等方面进行了简要分析。介绍了矩形微同轴技术在不同RF MEMS中的应用,并对获得的特性进行了讨论。矩形微同轴技术应用于高度集成的RF MEMS是发展的必然趋势,必将对传统射频电路的设计、制备及系统集成产生巨大影响。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所