基于热环境与桥材料属性的X频段MEMS移相器性能预测方法

作者：王从思; 应康; 刘菁; 李申; 王志海; 王璐; 严粤飞; 刘英想; 钟剑锋; 王伟; 宋立伟

来源：2018-08-23, 中国, ZL201810967724.1.

本发明公开了一种基于热环境与桥材料属性的X频段MEMS移相器性能预测方法,包括确定X频段MEMS移相器的结构参数、材料属性和电磁工作参数；建立结构-热变形仿真模型并热仿真,仿真提取MEMS桥的温度；测试热环境下MEMS桥材料对应的弹性模量值,并函数拟合；计算得到MEMS移相器下拉电压,使得MEMS桥高度产生误差；根据误差利用MEMS桥机电耦合模型计算MEMS桥的相移量；计算MEMS移相器的相移量；预测当前热环境与材料属性下MEMS移相器的相移量。本方法可以直接分析热环境与桥材料属性对移相器的影响,利用环境温度直接对MEMS移相器相移量定量预测,指导设计与优化,改善工作环境下移相器性能的稳健性。

• 单位
  西安电子科技大学