激光干涉比长仪的瞄准方法

作者：张晓; 茅振华; 陈挺; 周红明; 高宏堂; 叶孝佑

来源：计量技术, 2016, (12): 3-6.

• 激光干涉比长仪
• 刻线瞄准
• 单狭缝

本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法,通过计算刻线信号重心坐标平均值,确定刻线中心位置,实验结果表明因刻线信号形状不规则引起的误差小于4nm;通过简化算法将计算时间缩短到1s以内,实现了测量数据的实时处理。

• 单位
  中国计量科学研究院; 浙江省计量科学研究院