国内多晶硅冷氢化技术应用研究

作者：张正国; 欧昌洪; 陈广普; 吴建波; 龚波林

来源：化工技术与开发, 2013, (02): 28-30+3.

• 多晶硅
• 冷氢化
• 应用研究 polysilicon
• cold conversion
• application research

重点介绍了多晶硅生产中冷氢化技术的发展历程和基本原理,对冷氢化技术进行了详细的阐述,列出了目前国内企业应用冷氢化技术后表现出的较优的技术、经济指标。同时,还比较了冷氢化、热氢化技术的优缺点,分析了当前国内冷氢化技术在应用上面临的问题及解决办法,并指出了未来冷氢化技术的发展方向。

• 单位
  宁夏大学