LD耦合透镜焦斑位置视觉测量系统

作者：李馨; 程锦; 何平安^*

来源：光学与光电技术, 2021, 19(04): 18-23.

DOI：10.19519/j.cnki.1672-3392.2021.04.003

• 视觉测量
• 耦合透镜
• 偏心测量
• 焦距测量
• 搜索算法

设计了一种用于LD耦合透镜焦斑位置检测的显微图像视觉成像系统,该系统由远心镜头、环形LED光源、工业用数码相机和前进运动控制器组成。分别对模组外圆直径与中心检测和对LD耦合透镜出射LD激光焦斑中心和位置检测,得到耦合透镜的焦距及LD偏心度,为后续与光纤的耦合提供精确定位。实验数据表明,该系统偏心测量标准差小于5μm,焦距测量标准差小于±0.1 mm,能准确获得聚焦光斑和底座圆心的相对位置关系,实验结果精确、测量效率高。

• 单位
  武汉大学