无掩膜光刻图形的数据提取技术

作者：刘丹玥; 侯文玫; 许琦欣

来源：信息技术, 2015, (05): 212-214.

DOI：10.13274/j.cnki.hdzj.2015.05.057

• 无掩膜光刻
• MATLAB
• DXF文件

由于掩膜的成本在整个光刻成本中所占的份额不断攀升,所以降低掩膜的成本,甚至发展到不需要昂贵的掩膜的无掩膜光刻技术已经成为了关键。掩膜的图形格式如DXF和GDSII无法直接用于无掩膜光刻机,需要对掩膜图形数据进行提取。了解DXF格式的掩膜图形特点,编写算法对掩膜图形信息进行提取和解析,并通过MATLAB仿真验证读入图形的正确性。

• 单位
  上海理工大学; 上海微电子装备有限公司