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摘要
为提高磁控溅射镍铬合金薄膜的性能和确定最佳工艺参数条件，建立了一种粒子群-最小二乘支持向量机(PSO-LSSVM)和遗传算法(GA)联合优化算法。以功率、压强、基底温度及偏压为因素设计表面粗糙度和沉积速率的正交试验；采用极差分析法得到工艺参数组合，并分析了该方法存在的不足；通过最小二乘支持向量机分别建立对表面粗糙度和沉积速率的预测模型。为提高预测模型的精度，提出了高斯核函数与多项式核函数的加权混合核函数，采用粒子群算法对权重因子、惩罚因子、高斯核带宽以及多项式阶次进行多目标寻优，得到LSSVM非线性回归预测函数。将回归预测函数作为遗传算法的适应度函数，并确定四种相关因素的约束条件，分别得到了两种性能的最佳工艺参数。
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