采用吸光度分析方法,可在线测量化学镀铜槽液,研制出了化学镀铜镀液中铜离子在线自动分析及添加系统。通过对两种不同浓度的标液(或纯水与标准浓度的镀液)的吸光度建立线性关系,且对不同浓度的镀液进行测试,自动分析仪的标准偏差小于1.5%,与化学滴定分析相比的误差小于2%,且实现在线实时分析,根据分析数据,自动管控镀槽药水,稳定药水品质。
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