MOEMS 2D扫描镜的研究进展

作者：马天义; 余跃; 许敬; 吴建东

来源：传感器与微系统, 2016, 35(06): 1-8.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2016)06-0001-03

• 微光电子机械系统
• 扫描镜
• 静电驱动
• 框架式

微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,并给出了典型产品及系统应用,总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状,并分析了与国外产品的差距。

• 单位
  上海航天控制技术研究所; 中国航天科技集团公司